FGL（RTP）系列滑軌式管式爐(T max 1100℃)

   滑軌式管式爐一體化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),用于1100℃以下快速升溫快速降溫的特殊工藝要求，通過移動爐體實(shí)現(xiàn)快速冷卻的目的。同時也可以預(yù)先設(shè)定溫度，然后移動到樣品處，達(dá)到快速升溫。適合使用廣泛的RTP工藝及CVD石墨烯工藝。

特點(diǎn)

1、工作溫度RT～1000℃。

2、智能程序控溫儀控制精準(zhǔn),可編輯、儲存并調(diào)用多段程序。

3、采用陶瓷纖維FEC加熱模塊，電阻絲內(nèi)嵌式環(huán)繞加熱。

4、爐殼結(jié)構(gòu)，雙層爐殼風(fēng)冷結(jié)構(gòu)。

5、不銹鋼雙層密封法蘭，進(jìn)、出氣美標(biāo)針閥。

6、兩端可調(diào)節(jié)式法蘭支撐結(jié)構(gòu)

7、溫度過高保護(hù)功能，當(dāng)溫度超過允許設(shè)定值自動斷電。

額外選配    爐內(nèi)測量系統(tǒng)（氧含量測量系統(tǒng)、溫度測量系統(tǒng)）；

真空系統(tǒng)（旋片式機(jī)械泵、擴(kuò)散泵機(jī)組、分子泵機(jī)組）；

氣氛系統(tǒng)（浮子流量計(jì)、質(zhì)量流量計(jì)）；

監(jiān)控系統(tǒng)：（溫度記錄儀、觸摸屏遠(yuǎn)程監(jiān)控）；

           注：選件需配置拓展柜體；

技術(shù)參數(shù)

注：給出的設(shè)計(jì)溫度為工作管外測定，其它溫區(qū)個數(shù)和加熱區(qū)長度可根據(jù)客戶工藝要求定制。

網(wǎng)址： www.tcollege.com.cn

銷售熱線：0551-6716 6660,139 6671 8548 方先生